FOTOLITOGRAFIYA

FOTOLITOGRAFIYA (foto… va litografiya) — 1) toshbosma qolipi tayyorlashning fotomexanik usuli; bunda tasvir negativnaya sirtiga yorug’lik sezgir qatlami qoplangan tosh (metall) ga ko’chiriladi. Nusxa ochiltirilgandan so’ng unga kimyoviy ishlov beriladi, natijada sirt bosma va probel (oraliq) elementlarga bo’linadi. Hozirgi vaqtda Fotolitografiya kamdan-kam ishlatiladi; 2) fotorezist (yorug’sezgir polimer qatlam) lardagi maxsus fotografik jarayon. Fotolitografiyadan massad fotorezist qatlamida berilgan konfigurasiya (shakl)dagi “teshik” hosil qilib, shu teshik orqali oksidlangan pardali yarimo’tkazgichli plastinaga xurushlash moddasi keltirishdir. Bunday “teshik”lar fotorezistni ultrabinafsha nurlanish oqimida yoki elektronlar oqimida ma’lum vaqt qoldirib hosil qilinadi. Natijada xurushlash moddasi erish xususiyatini yo’qotadi (negativ fotorezist) yoki erish xususiyatiga ega bo’lib qoladi (pozitiv fotorezist). Bu usul rangli televizorlarning niqoblarida tartibli joylashgan yuz mingdan ortiq mayda teshik hosil qilishda qullaniladi; 3) Fotolitografiya usuli bilan tayyorlangan litografik bosma qolipdan olinadigan nusxa.